VLSI technology /

Covers the broad spectrum of VLSI processes, semiconductor technology, micromachining, microelectronics packaging, compound semiconductor digital integrated circuit technology, and multichip module technologies.

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Chen, Wai-Kai, 1936-
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Boca Raton : CRC Press, 2003.
Schriftenreihe:Principles and applications in engineering ; 8.
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