Handbook of silicon wafer cleaning technology /
Сохранить в:
| Другие авторы: | , |
|---|---|
| Формат: | |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
Norwich, NY
William Andrew
c2008.
|
| Редактирование: | 2nd ed. |
| Серии: | Materials science & process technology series
|
| Предметы: | |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Объем: | xxvi, 718 pages illustrations 24 cm. |
|---|---|
| ISBN: | 0815515545 9780815515548 |