Handbook of chemical vapor deposition /
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| Auteur principal: | |
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| Format: | Livre |
| Langue: | English |
| Publié: |
Norwich, NY
Noyes Publications
1999.
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| Édition: | 2nd edition |
| Sujets: | |
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| Description: | Rev. ed. of Handbook of chemical vapor deposition (CVD), c1992. |
|---|---|
| Description matérielle: | xxiv, 482 pages: illustrations ; 24 cm. |
| Bibliographie: | Includes bibliographical references. |
| ISBN: | 0815514328 |