Institution of Electrical Engineers & Hsu, T. (2004). Mems packaging. INSPEC.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Institution of Electrical Engineers und Tai-Ran Hsu. Mems Packaging. London: INSPEC, 2004.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Institution of Electrical Engineers und Tai-Ran Hsu. Mems Packaging. INSPEC, 2004.
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