Electroceramic-based MEMS fabrication-technology and applications /
Salvato in:
| Ente Autore: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | eBook |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Boston, MA
Springer
2005
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| Serie: | Electronic Materials: Science and Technology,
9 |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | Click here to view the full text content |
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| Descrizione fisica: | 1 online resource digital. |
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| ISBN: | 9780387233192 9780387233109 |
| ISSN: | 1386-3290 ; |