Electroceramic-based MEMS fabrication-technology and applications /
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| Autor Corporativo: | |
|---|---|
| Outros Autores: | |
| Formato: | livro electrónico |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
Boston, MA
Springer
2005
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| Colecção: | Electronic Materials: Science and Technology,
9 |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Click here to view the full text content |
| Tags: |
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| Descrição Física: | 1 online resource digital. |
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| ISBN: | 9780387233192 9780387233109 |
| ISSN: | 1386-3290 ; |