Nanofabrication : Techniques and principles /
Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with n...
Պահպանված է:
| Համատեղ հեղինակ: | |
|---|---|
| Այլ հեղինակներ: | , |
| Ձևաչափ: | էլ․ գիրք |
| Լեզու: | English |
| Հրապարակվել է: |
Vienna :
Springer Vienna
2012.
|
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | Click here to view the full text content |
| Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|