Nanofabrication : Techniques and principles /
Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with n...
Đã lưu trong:
| Tác giả của công ty: | |
|---|---|
| Tác giả khác: | , |
| Định dạng: | eBook |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
Vienna :
Springer Vienna
2012.
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | Click here to view the full text content |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|