Nanofabrication : Techniques and principles /
Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with n...
Guardat en:
| Autor corporatiu: | |
|---|---|
| Altres autors: | , |
| Format: | eBook |
| Idioma: | English |
| Publicat: |
Vienna :
Springer Vienna
2012.
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | Click here to view the full text content |
| Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|
Sistema fora de servei per tasques de manteniment
El catàleg està fora de servei temporalment per tasques de manteniment
La informació de disponibilitat dels exemplars no està disponible en aquests moments, sentim les inconveniències: