Nanofabrication : Techniques and principles /
Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with n...
Đã lưu trong:
Tác giả của công ty: | |
---|---|
Tác giả khác: | , |
Định dạng: | eBook |
Ngôn ngữ: | English |
Được phát hành: |
Vienna :
Springer Vienna
2012.
|
Những chủ đề: | |
Truy cập trực tuyến: | Click here to view the full text content |
Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
Hệ thống đang được bảo trì
Hệ thống quản lý thư viện của chúng tôi hiện đang được bảo trì.
Thông tin về trạng thái tài khoản và mục khả dụng hiện không khả dụng. Vui lòng chấp nhận lời xin lỗi của chúng tôi vì bất kỳ sự bất tiện nào mà điều này có thể gây ra và liên hệ với chúng tôi để được hỗ trợ thêm: