Nanoimprint lithography: an enabling process for nanofabrication /
Nanoimprint Lithography: An enabling process for nanofabrication presents a comprehensive description of nanotechnology that is one of the most promising low-cost, high-throughput technologies for manufacturing nanostructures, and an emerging lithography candidates for 22, 16 and 11 nm nodes. It pro...
Guardat en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Autor corporatiu: | |
| Format: | eBook |
| Idioma: | English |
| Publicat: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
2013.
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | Click here to view the full text content |
| Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|
Sistema fora de servei per tasques de manteniment
El catàleg està fora de servei temporalment per tasques de manteniment
La informació de disponibilitat dels exemplars no està disponible en aquests moments, sentim les inconveniències: