Micromechanics and MEMS : classic and seminal papers to 1990 /
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| निगमित लेखक: | |
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| अन्य लेखक: | |
| स्वरूप: | पुस्तक |
| भाषा: | English |
| प्रकाशित: |
New York
IEEE Press
1997.
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