Micromechanics and MEMS : classic and seminal papers to 1990 /

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Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo:	Institute of Electrical and Electronics Engineers
Outros autores:	Trimmer, W.
Formato:	Libro
Idioma:	English
Publicado:	New York IEEE Press 1997.
Subjects:	Microelectronics Microelectromechanical systems. Actuators.
Tags:	Engadir etiqueta Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!

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