An Introduction to microelectromechanical systems engineering /
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Boston
Artech House
2004
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| Ausgabe: | Second edition. |
| Schriftenreihe: | Microelectromechanical systems series
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| Schlagworte: | |
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