An Introduction to microelectromechanical systems engineering /
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| Auteur principal: | |
|---|---|
| Autres auteurs: | |
| Format: | Livre |
| Langue: | English |
| Publié: |
Boston
Artech House
2004
|
| Édition: | Second edition. |
| Collection: | Microelectromechanical systems series
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| Sujets: | |
| Tags: |
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