An Introduction to microelectromechanical systems engineering /
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| Autore principale: | |
|---|---|
| Altri autori: | |
| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Boston
Artech House
2004
|
| Edizione: | Second edition. |
| Serie: | Microelectromechanical systems series
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| Soggetti: | |
| Tags: |
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