Dry Etching Technology for Semiconductors /

This book is a must-have reference to dry etching technology for semiconductors, which will enable engineers to develop new etching processes for further miniaturization and integration of semiconductor integrated circuits.  The author describes the device manufacturing flow, and explains in which p...

תיאור מלא

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Nojiri, Kazuo (Author)
מחבר תאגידי: SpringerLink (Online service)
פורמט: ספר אלקטרוני
שפה:English
יצא לאור: Cham : Springer International Publishing : Imprint: Springer, 2015.
נושאים:
גישה מקוונת:Click here to view the full text content
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!