Contact hole printing beyond 190NM in photolithography processing using resolution enhancement techniques
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Korporativní autor: | |
| Médium: | Diplomová práce Kniha |
| Jazyk: | English |
| Vydáno: |
Kangar
Universiti Malaysia Perlis (UniMAP)
2008
|
| Témata: | |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|
| Popis jednotky: | Tesis 2008 |
|---|---|
| Fyzický popis: | xiii, 128p. ill. 30cm. |