Contact hole printing beyond 190NM in photolithography processing using resolution enhancement techniques
Salvato in:
| Autore principale: | |
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| Ente Autore: | |
| Natura: | Tesi Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Kangar
Universiti Malaysia Perlis (UniMAP)
2008
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| Soggetti: | |
| Tags: |
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| Descrizione del documento: | Tesis 2008 |
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| Descrizione fisica: | xiii, 128p. ill. 30cm. |