Contact hole printing beyond 190NM in photolithography processing using resolution enhancement techniques

Sparad:
Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Cheong Yew Shun (Författare, medförfattare)
Institutionell upphovsman: Universiti Malaysia Perlis
Materialtyp: Lärdomsprov Bok
Språk:English
Publicerad: Kangar Universiti Malaysia Perlis (UniMAP) 2008
Ämnen:
Taggar: Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
Beskrivning
Beskrivning:Tesis 2008
Fysisk beskrivning:xiii, 128p. ill. 30cm.