Contact hole printing beyond 190NM in photolithography processing using resolution enhancement techniques
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Korporativna značnica: | |
| Format: | Thesis Knjiga |
| Jezik: | English |
| Izdano: |
Kangar
Universiti Malaysia Perlis (UniMAP)
2008
|
| Teme: | |
| Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|
| Opis knjige/članka: | Tesis 2008 |
|---|---|
| Fizični opis: | xiii, 128p. ill. 30cm. |