Fabrication of silicon nanowires using scanning electron microscope based electron beam lithography method /

The goal of this research work is to form and produce very small nanowires using a Top-Down Nanofabrication Method which involved Scanning Electron Microscope (SEM) based Electron Beam Litography (EBL) method.

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Mohammad Nuzaihan Bin Md Nor (Tác giả)
Tác giả của công ty: Universiti Malaysia Perlis
Định dạng: Luận văn Phần mềm eBook
Ngôn ngữ:English
Được phát hành: Kangar Universiti Malaysia Perlis (UniMAP) 2007.
Những chủ đề:
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
Miêu tả
Tóm tắt:The goal of this research work is to form and produce very small nanowires using a Top-Down Nanofabrication Method which involved Scanning Electron Microscope (SEM) based Electron Beam Litography (EBL) method.
Mô tả sách:Tesis 2007
Accompanied by CD-ROM (901000006)
Mô tả vật lý:xxv, 108 p. ill. 30 cm. + 1 CD-ROM (4 3/4 in.)