Fabrication of silicon nanowires using scanning electron microscope based electron beam lithography method /

Fabrication of silicon nanowires using scanning electron microscope based electron beam lithography method /

The goal of this research work is to form and produce very small nanowires using a Top-Down Nanofabrication Method which involved Scanning Electron Microscope (SEM) based Electron Beam Litography (EBL) method.

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Mohammad Nuzaihan Bin Md Nor (Հեղինակ)
Համատեղ հեղինակ: Universiti Malaysia Perlis
Ձևաչափ: Թեզիս Ծրագրային ապահովում էլ․ գիրք
Լեզու:English
Հրապարակվել է: Kangar Universiti Malaysia Perlis (UniMAP) 2007.
Խորագրեր:
Nanowires
Nanostructure materials > Electric properties
Electrochemistry.
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!

Նմանատիպ նյութեր

Նմանատիպ նյութեր