Fabrication of silicon nanowires using scanning electron microscope based electron beam lithography method /
The goal of this research work is to form and produce very small nanowires using a Top-Down Nanofabrication Method which involved Scanning Electron Microscope (SEM) based Electron Beam Litography (EBL) method.
Sparad:
Huvudupphovsman: | |
---|---|
Institutionell upphovsman: | |
Materialtyp: | Lärdomsprov Datorprogram E-bok |
Språk: | English |
Publicerad: |
Kangar
Universiti Malaysia Perlis (UniMAP)
2007.
|
Ämnen: | |
Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
Systemet under underhåll
Bibliotekssystemet är närvarande under underhåll.
Tillgänglighetsinformation kan inte visas för tillfället. Vi beklagar störningen. Kontakta oss om problemet kvarstår: