Silicon nanowire sensor from electron beam litography : design, fabrication and characterization /
This study demonstrates the process development of silicon nanowires (SiNWs) sensor requires both the fabrication of nanoscale diameter wires and standard integration to CMOS process. There are three objectives that applied to this research work. The first objective is to design masks using GDSII Ed...
Đã lưu trong:
Tác giả chính: | Siti Fatimah Abd Rahman (Tác giả) |
---|---|
Tác giả của công ty: | Universiti Malaysia Perlis |
Định dạng: | Luận văn Sách |
Ngôn ngữ: | English |
Được phát hành: |
Perlis, Malaysia
School of Microelectronic
2011.
|
Những chủ đề: | |
Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
Những quyển sách tương tự
-
Silicon nanowire sensor from electron beam litography : design, fabrication and characterization /
Bằng: Siti Fatimah Abd Rahman
Được phát hành: (2011) -
Fabrication of silicon nanowires using scanning electron microscope based electron beam lithography method /
Bằng: Mohammad Nuzaihan Bin Md Nor
Được phát hành: (2007) -
Quantum phase slips in superconducting nanowires/
Bằng: Leggett, Anthony Sir
Được phát hành: (2012) -
Development of novel silicon nanowire biosensor for detection of DNA molecules at femtomolar concentration/
Bằng: Mohammad Nuzaihan Md Nor
Được phát hành: (2016) -
Inorganic nanowires : applications, properties, and characterization /
Bằng: Meyyappan M.