Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering
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| Auteur principal: | |
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| Format: | Livre |
| Langue: | English |
| Publié: |
Hoboken, NJ
John Wiley & Sons
2008
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| Édition: | Second edition |
| Sujets: | |
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| Description matérielle: | xxv, 550 pages: 24 cm. |
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| Bibliographie: | Bibliography: p. 509-521. |
| ISBN: | 0470083018 (hc) 9780470083017 (hc) |