Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering
保存先:
| 第一著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
Hoboken, NJ
John Wiley & Sons
2008
|
| 版: | Second edition |
| 主題: | |
| タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
| 物理的記述: | xxv, 550 pages: 24 cm. |
|---|---|
| 書誌: | Bibliography: p. 509-521. |
| ISBN: | 0470083018 (hc) 9780470083017 (hc) |