Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Hoboken, NJ
John Wiley & Sons
2008
|
| Редагування: | Second edition |
| Предмети: | |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Фізичний опис: | xxv, 550 pages: 24 cm. |
|---|---|
| Бібліографія: | Bibliography: p. 509-521. |
| ISBN: | 0470083018 (hc) 9780470083017 (hc) |