Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering
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| 主要作者: | |
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| 格式: | 图书 |
| 语言: | English |
| 出版: |
Hoboken, NJ
John Wiley & Sons
2008
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| 版: | Second edition |
| 主题: | |
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| 实物描述: | xxv, 550 pages: 24 cm. |
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| 参考书目: | Bibliography: p. 509-521. |
| ISBN: | 0470083018 (hc) 9780470083017 (hc) |