Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering

Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering

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Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Hsu, Tai-Ran (Autore)
Natura:	Libro
Lingua:	English
Pubblicazione:	Hoboken, NJ John Wiley & Sons 2008
Edizione:	Second edition
Soggetti:	Microelectronics. Microelectromechanical systems. Microelectronic packaging.
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