Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering
保存先:
第一著者: | Hsu, Tai-Ran (著者) |
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フォーマット: | 図書 |
言語: | English |
出版事項: |
Hoboken, NJ
John Wiley & Sons
2008
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版: | Second edition |
主題: | |
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