Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering

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ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक: Hsu, Tai-Ran (लेखक)
स्वरूप: पुस्तक
भाषा:English
प्रकाशित: Hoboken, NJ John Wiley & Sons 2008
संस्करण:Second edition
विषय:
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