Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering
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मुख्य लेखक: | |
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स्वरूप: | पुस्तक |
भाषा: | English |
प्रकाशित: |
Hoboken, NJ
John Wiley & Sons
2008
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संस्करण: | Second edition |
विषय: | |
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