Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Hoboken, NJ
John Wiley & Sons
2008
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| Edizione: | Second edition |
| Soggetti: | |
| Tags: |
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