CMOS-MEMS /

Saved in:
Bibliographic Details
Other Authors: Brand, Oliver, 1964-, Fedder, Gary K
Format: Book
Language:English
Published: Weinheim, Germany Wiley-VCH 2005.
Series:Advanced micro & nanosystems ; v. 2.
Subjects:
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
LEADER 01428nam a2200373 a 4500
001 vtls000026225
003 MY-ArUMP
005 20210731230401.0
008 120302s2005 gw a f b 001 0 eng d
020 |a 3527310800 (hc)  |c RM923.40 
020 |a 9783527310807 (hc) 
035 |a (OCoLC)ocm56806744 
039 9 |a 201203021607  |b SMT  |c 201111291553  |d VLOAD  |c 201111291022  |d VLOAD  |c 201111161308  |d VLOAD  |y 200606091002  |z NUI  |e NHM 
040 |a MYPMP  |b eng  |e rda  |c MYPMP 
090 0 0 |a TK7875  |b C737 2005 
245 0 0 |a CMOS-MEMS /  |c volume editors: O. Brand and G. K. Fedder. 
264 1 |a Weinheim, Germany  |b Wiley-VCH  |c 2005. 
300 |a xiv, 594 pages:  |b illustrations;  |c 25 cm. 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent  
337 |a unmediated  |b n  |2 rdamedia 
338 |a volume  |b nc  |2 rdacarrier 
490 1 |a Advanced micro & nanosystems ;  |v v. 2. 
541 |a KOPERASI KEDAIBUKU UNIVERSITI MALAYA BERHAD  |d 20-08-07 
591 |a PER.2/O/07/278(a) 
594 |a 25-10-07 
650 0 |a Microelectromechanical systems. 
650 0 |a Metal oxide semiconductors, Complementary. 
700 1 |a Brand, Oliver,  |d 1964- 
700 1 |a Fedder, Gary K 
830 0 |a Advanced micro & nanosystems ;  |v v. 2. 
942 |2 lcc  |c BK-OS 
949 |a VIRTUAITEM  |d 30000  |f 1  |x 1  |6 027969 
999 |c 75706  |d 75706 
952 |0 0  |1 0  |2 lcc  |4 0  |6 TK7875 C737 02005  |7 0  |9 63609  |a PTSFP  |b PTSFP  |c 1  |d 2021-07-31  |l 0  |o TK7875 C737 2005  |p 027969  |r 2021-07-31  |t 1  |w 2021-07-31  |y BK-OS