Introduction to microfabrication /

Saved in:
Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Franssila, Sami (Author)
Format: Bog
Sprog:English
Udgivet: Chichester John Wiley & Sons c2004.
Fag:
Tags: Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
LEADER 01375cam a22003734a 4500
001 vtls000021033
003 MY-ArUMP
005 20210731231215.0
008 040301s2004 enka b 001 0 eng
020 |a 0470851058  |c RM557.20 
020 |a 0470851066 (pbk.) 
035 |a (OCoLC)ocm53912486 
039 9 |a 201207251136  |b VLOAD  |c 201203020941  |d SMT  |c 201111291509  |d VLOAD  |c 201111290940  |d VLOAD  |y 200508091011  |z FS  |e MRM 
040 |a MYPMP  |b eng  |e rda  |c MYPMP 
090 0 0 |a TK7875  |b F835 2004 
100 1 |a Franssila, Sami.  |e author 
245 1 0 |a Introduction to microfabrication /  |c Sami Franssila. 
264 1 |a Chichester  |b John Wiley & Sons  |c c2004. 
264 4 |c ©2004 
300 |a xvii, 401 pages  |b illustrations  |c 25 cm. 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent  
337 |a unmediated  |b n  |2 rdamedia 
338 |a volume  |b nc  |2 rdacarrier 
504 |a Includes bibliographical references and index. 
541 |a REFINED CONTOUR SDN BHD  |d 09-08-05 
591 |a PER.2/O/05/112(k) 
594 |a 22-12-05 
650 0 |a Microelectromechanical systems. 
650 0 |a Electronic apparatus and appliances. 
650 0 |a Microfabrication. 
942 |2 lcc  |c BK-OS 
949 |a VIRTUAITEM  |d 10000  |f 1  |x 1  |6 019826  |9 1 
999 |c 81283  |d 81283 
952 |0 0  |1 0  |2 lcc  |4 0  |6 TK7875 F835 02004  |7 0  |9 70787  |a PTSFP  |b PTSFP  |c 1  |d 2021-07-31  |o TK7875 F835 2004  |p 019826  |r 2021-07-31  |t 1  |w 2021-07-31  |y BK-OS