Introduction to microfabrication /

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Dettagli Bibliografici
Autore principale: Franssila, Sami (Autore)
Natura: Libro
Lingua:English
Pubblicazione: Chichester John Wiley & Sons c2004.
Soggetti:
Microelectromechanical systems.
Electronic apparatus and appliances.
Microfabrication.
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