Introduction to microfabrication /

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Detalhes bibliográficos
Autor principal: Franssila, Sami (Autor)
Formato: Livro
Idioma:English
Publicado em: Chichester John Wiley & Sons c2004.
Assuntos:
Microelectromechanical systems.
Electronic apparatus and appliances.
Microfabrication.
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