MEMS and NEMS : system, devices, and structures /
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| Autore principale: | |
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| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Boca Raton
CRC Press
c2002.
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| Serie: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series.
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| Soggetti: | |
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| Descrizione fisica: | 461 pages: illustrations; 24 cm. |
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| ISBN: | 0849312620 9780849312625 |