MEMS and NEMS : system, devices, and structures /
保存先:
| 第一著者: | |
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| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
Boca Raton
CRC Press
c2002.
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| シリーズ: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series.
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| 主題: | |
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| 物理的記述: | 461 pages: illustrations; 24 cm. |
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| ISBN: | 0849312620 9780849312625 |