MEMS and NEMS : system, devices, and structures /

MEMS and NEMS : system, devices, and structures /

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Lyshevski, Sergey Edward (Author)
Format: Book
Language:English
Published: Boca Raton CRC Press c2002.
Series:Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series.
Subjects:
Microelectromechanical systems.
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
LEADER 01534nam a2200373Ia 4500
001 vtls000002476
003 MY-ArUMP
005 20210731231452.0
008 040607s2002 xx 000 0 eng d
020 |a 0849312620  |c RM401.43 
020 |a 9780849312625 
035 |a (OCoLC)ocm48056964 
039 9 |a 201207251046  |b VLOAD  |c 201203021547  |d SMT  |c 201111251707  |d VLOAD  |c 201111161236  |d VLOAD  |y 200406181457  |z VLOAD  |e SS 
040 |a MYPMP  |b eng  |e rda  |c MYPMP 
090 0 0 |a TK7875  |b L993 2002 
100 1 |a Lyshevski, Sergey Edward.,  |e author 
245 1 0 |a MEMS and NEMS :  |b system, devices, and structures /  |c by Sergey Edward Lyshevski. 
264 1 |a Boca Raton  |b CRC Press  |c c2002. 
264 4 |c ©2002 
300 |a 461 pages:  |b illustrations;  |c 24 cm. 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a unmediated  |b n  |2 rdamedia 
338 |a volume  |b nc  |2 rdacarrier 
440 |a Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series. 
541 |a ENCHE 
594 |a 9-Aug-02 
650 0 |a Microelectromechanical systems. 
942 |2 lcc  |c BK-OS 
949 |a VIRTUAITEM  |d 30000  |f 1  |x 10  |6 003416 
949 |a VIRTUAITEM  |d 30000  |f 2  |x 1  |6 005052  |a TK7875 L993 2002 c.2 
950 |a 005052 
999 |c 83486  |d 83486 
952 |0 0  |1 0  |2 lcc  |4 0  |6 TK7875 L993 02002  |7 0  |9 73686  |a PTSFP  |b PTSFP  |c 3  |d 2021-07-31  |l 0  |o TK7875 L993 2002  |p 003416  |r 2021-07-31  |t 1  |w 2021-07-31  |y BK-RESERVE 
952 |0 0  |1 0  |2 lcc  |4 0  |6 TK7875 L993 02002 C.00002  |7 0  |9 73687  |a PTSFP  |b PTSFP  |c 1  |d 2021-07-31  |l 0  |o TK7875 L993 2002 c.2  |p 005052  |r 2021-07-31  |t 2  |w 2021-07-31  |y BK-OS 

Similar Items