MEMS and NEMS : system, devices, and structures /
Salvato in:
Autore principale: | Lyshevski, Sergey Edward (Autore) |
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Natura: | Libro |
Lingua: | English |
Pubblicazione: |
Boca Raton
CRC Press
c2002.
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Serie: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series.
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Soggetti: | |
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