MEMS and NEMS : system, devices, and structures /
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| मुख्य लेखक: | |
|---|---|
| स्वरूप: | पुस्तक |
| भाषा: | English |
| प्रकाशित: |
Boca Raton
CRC Press
c2002.
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| श्रृंखला: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series.
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| विषय: | |
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