MEMS and NEMS : system, devices, and structures /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | 图书 |
| 语言: | English |
| 出版: |
Boca Raton
CRC Press
c2002.
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| 丛编: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series.
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| 主题: | |
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