MEMS and NEMS : system, devices, and structures /
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Boca Raton
CRC Press
c2002.
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| Serie: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series.
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| Soggetti: | |
| Tags: |
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