Nano-and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering /
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Boca Raton
CRC Press
c2001.
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| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | CRCnetBASE |
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| Beschreibung: | Also available via ENGnetBASE |
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| Beschreibung: | 338 pages: illustrations; 24 cm. |
| ISBN: | 0849309166 |