Nano-and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering /
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| Autore principale: | |
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| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Boca Raton
CRC Press
c2001.
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| Soggetti: | |
| Accesso online: | CRCnetBASE |
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| Descrizione del documento: | Also available via ENGnetBASE |
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| Descrizione fisica: | 338 pages: illustrations; 24 cm. |
| ISBN: | 0849309166 |