Nano-and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering /
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
Boca Raton
CRC Press
c2001.
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | CRCnetBASE |
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| Descrição do item: | Also available via ENGnetBASE |
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| Descrição Física: | 338 pages: illustrations; 24 cm. |
| ISBN: | 0849309166 |