Nano-and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | 圖書 |
| 語言: | English |
| 出版: |
Boca Raton
CRC Press
c2001.
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| 主題: | |
| 在線閱讀: | CRCnetBASE |
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| Item Description: | Also available via ENGnetBASE |
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| 實物描述: | 338 pages: illustrations; 24 cm. |
| ISBN: | 0849309166 |