Nano-and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | 图书 |
| 语言: | English |
| 出版: |
Boca Raton
CRC Press
c2001.
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| 主题: | |
| 在线阅读: | CRCnetBASE |
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| Item Description: | Also available via ENGnetBASE |
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| 实物描述: | 338 pages: illustrations; 24 cm. |
| ISBN: | 0849309166 |