Nano-and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering /
保存先:
| 第一著者: | |
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| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
Boca Raton
CRC Press
c2001.
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| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | CRCnetBASE |
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| 記述事項: | Also available via ENGnetBASE |
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| 物理的記述: | 338 pages: illustrations; 24 cm. |
| ISBN: | 0849309166 |